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投影光刻机气动隔振系统有哪些方式

发表时间:2023-05-18

投影光刻机气动隔振系统有哪些方式
1、设计方案绝对高度更低:与传统气缸对比,增压器的投影光刻机气动隔振系统并没有液压油缸。设计方案含有什么方法可以大幅度降低弹簧的绝对高度?使结构更紧密。
2、无电源适配器的好姿态:工业设备气襄扭力弹簧的偏斜角度做到30°,便捷设计师设计方案连接组织计划方案。(注:假如设施的规格型号和规格不一样,允许的俯仰角也不一样。)
3、型号挑选低成本:与传统气缸对比弹簧,气体增压器弹簧不仅低成本,而且使用年限长,免维护保养空气弹簧减震器哪里好,成本费可控性。
4、无摩擦免维修保养:即便在严酷的应用情况下弹簧,弹簧也可以正常的工作中。由于打气筒内并没有互相摩擦的构件(液压密封件),因此即便在有许多灰尘、微小颗粒物或沉淀的条件下都不容易损坏。
5、联系实际出色的疲倦缓解:气囊弹簧在动态性情况下也十分耐疲倦,由于这类气囊用以各式各样化工品的生产制造普遍的运用和检测,即使他们是不容易受天气和外部环境的危害。即便承载力大,工业设备仍能维持较长的使用年限。
6、气体增压器投影光刻机气动隔振系统的气轴抗压强度可达30mm,在该地区工作时可始终保持。与气缸或液压油缸不一样,气缸不容易纸卡或损坏液压密封件,都不应用易受灰尘与别的碎渣损害的滚桶。
7、便于组装:当不除灰时,气囊投影光刻机气动隔振系统组装快速轻轻松松,省时省力、时间精力和成本费。除此之外,该元器件具有较好的延展性,能够赔付细微的偏差。
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